中南大学微纳加工与器件制造平台（以下简称“微纳平台”）是校级的大型仪器设备公共平台，集微纳米图形制备、薄膜沉积、干法刻蚀、表征测试及封装键合为一体。微纳平台目前拥有18台通用设备，包含原位纳米机电加工系统、无掩膜光刻机、紫外光刻机、纳米压印、电子束蒸发仪、磁控溅射仪、感应耦合等离子刻蚀机、反应离子刻蚀机等。

微纳平台从2024年9月27日起对校内开放试运行。经过5个月的试运行，全部仪器设备功能正常、平稳运行。为了更好地发挥高端大仪的作用、提高仪器的使用率，从2025年3月1日起对校内外开放运行，收费标准见附件1。欢迎广大校内外师生预约使用！

同时，微纳平台大型仪器对本校师生开放培训，鼓励学生自主独立操作，费用为相应价格的7折，且经过考核合格后可预约非工作时段机时。详细内容见附件1。大型仪器独立操作需要缴纳超净间使用费，申请需要导师签字同意。有意向者请填写附件2。

运行开放时间:周一至周五8:00-12:00，14:30-17:30（法定节假日除外）。特殊情况如需在非开放时间使用设备，可提前与平台工作人员沟通协商。

预约请登录：中南大学大型仪器设备共享网络服务平台http://equip.csu.edu.cn/

微纳平台地址：潇湘校区工训中心楼A1栋东面

微纳平台公共联系方式：18692257791（程老师）

                                    中南大学物理学院

                                     2025年2月25日

附件1：

中南大学微纳加工与器件制造平台

收费及培训制度

一、工艺设备收费制度

补充说明：（a）校外价格为校内价格的1.5倍；（b）物理学院价格：校内价格的7折；（c）自主操作价格：对应价格的7折；（d）所有优惠价格指大型设备使用费，材料费不打折；（e）不计费设备统一计算在超净间使用费中，用户须登记使用；（f）其它使用的化学品耗材均按实际价格结算；（g）预约时长最短为半小时。

二、工艺设备人员培训方法

培训目的：根据相关安全制度尽可能确保所有使用微纳平台人员的健康和生命安全，并确保微纳平台的财产安全。

培训对象：使用微纳平台的所有人员。培训采取申请制度，原则上只接受博士或老师本人申请，特殊情况可向平台申请。

培训收费：根据实际使用机时收费。

培训内容：

1. 微纳平台综合培训

（1）综合培训内容：微纳平台的总体布局、环境，微纳平台的管理规定、行为规范，安全知识等。

（2）微纳平台参观讲解：实地参观介绍微纳平台的布局、环境，设备仪器的位置，安全器具的摆放位置，现场安全演练，紧急逃生路线等。

（3）综合培训考核：考核用户对微纳平台的总体布局、环境，微纳平台的管理规定、行为规范，安全知识的了解程度，以笔试形式进行。所有用户都必须参加以上三个环节，并且考核通过后才可申请门禁及使用微纳平台。

2. 工艺设备培训

（1）设备培训（理论部分）：介绍微纳平台内设备的基本原理，性能指标，基本的工艺参数和工艺实例，参数调整对工艺结果的影响，检测方法，使用中的注意事项等。经过此项培训，学生可以在网上预约机时进行设备培训。

（2）设备培训（上机操作部分）：经过该项培训，使用户能正确地按照操作规程具体操作仪器设备，掌握设备使用中的注意事项，能够及时处理设备使用中的异常状况。

（3）设备培训考核：对用户使用仪器设备的技能进行评估，以实际操作与提问相结合的方式进行。通过设备培训考核的用户方可操作使用设备，进入使用实习期。

（4）实习期：用户进入实习期后，使用仪器设备时需有微纳平台的技术人员陪同。实习期为2个月内使用设备5次以上，在实习期内无明显失误的用户，经微纳平台技术人员评估认可后，获得独立使用设备的授权。获得授权的用户必须充分了解授权的范围，如果需进行非授权的操作，应该及时请微纳平台技术人员协助。

（5）再次实习：获得某设备独立使用授权的用户，连续3个月以上没有使用该设备将被取消独立使用权限。如果还需要独立使用该设备，须重新进入实习期，经微纳平台技术人员评估认可后，再次获得独立使用设备的授权。

（6）再次培训：如果用户违反微纳平台的管理规定或操作规程的，除须接受相关的处罚外，根据违规的类别和严重程度，还须重新参加相关的培训和考核。

3. 培训安排

（1）每两个月以集中上课形式举办一次平台综合培训。需要参加培训的用户请提前三天报名。如果报名人数不足10人，当次的综合培训合并到下次，届时无论人数多少都会进行。平台培训合格后方可获得进入超净间权限。

（2）设备培训的理论部分会以集中上课形式一学期举办一次，会提前两周在网站上发出通知，需要参加的用户请提前一周报名。

（3）设备上机培训：用户先与设备负责人联系，填写工艺流程单，预约设备机时，自己准备样品，由微纳平台技术人员在用户预约的时间对用户进行培训。

4. 培训报名：

（1）综合培训：请联系罗老师，电话18692257791。

（2）设备理论及上机培训报名：请直接与相关设备负责人联系，安排上机培训。参加设备上机培训的用户必须已经通过了综合培训考试，参加了设备理论培训。

附件2

中南大学微纳加工与器件制造平台
工艺设备培训申请表

填写说明：

1. 人员类别：博士研究生/硕士研究生/本科生/博士后/教师等，国际留学生请单独注明，例：博士研究生（留学生）。

2. 申请设备：填设备名称，可一次申请多台设备的培训，每台设备的具体培训时间另行通知。

3. 是否有相关经验：指相应或其他大型仪器设备的管理与操作经验，填“无”或详细情况。

4. 本说明页无需打印。