1.1.1 分辨率
常温下分辨率为0.14μm——物镜100×(N.A.:0.95)时的分辨率。
高温下分辨率为0.45μm——高温观察用物镜TOS 35×(N.A.:0.40)时的分辨率。
1.1.2 激光源
紫色激光二极管,波长405nm。
1.1.3 成像方式
常温/高温:激光扫描成像
1.1.4 数码变焦功能
8倍变焦功能(1 ~ 8×)。
1.1.5 扫描速率/像素
扫描速率/像素:120Hz / 1024×128, 60Hz / 1024×256, 30Hz / 1024×512,
15Hz / 1024×1024,7.5Hz / 2048×2048。
1.2 高温加热炉
1) 加热温度:室温至1700℃(R型热电偶),200~1750℃ ( B型热电偶 )
2) 温度控制精度:0.1℃
3) 加热方式:红外集光成像加热
4) 加热光源:卤素灯1.5 KW (100V)
5) 温度控制:PID(16阶程序)
6) 真空度:10-2Pa等级
7) 试样:固体,液体及粉状
8) 最大加热速率:1000℃/min
9) 最大冷却速率:-100℃/sec(He气助冷,高温段)
10) 加热区域:φ10mm×h 10mm
11) 水冷要求:大于 0.5L/min at 1kg/cm2
12) 辅助气体/空气要求:多于150cc/min at 0.5kg/cm2
13) 加热炉环境:大气、真空、惰性气氛、还原性气氛
14) 坩埚:5φ铂, 6.5φ氧化铝陶瓷, 9φ氧化铝陶瓷
一、熔融实验最高温度~1700℃/1750℃,实现室温到1750℃对材料进行实时原位观察;
二、可进行三维(常温)的结构观察,并可以进行数据(表面形貌,微小尺寸)测定;
三、温度变化过程可以超高速达到(数秒内达到1700℃),高速降温(每秒100℃),温度控制精度0.1℃,还可保持温度恒定,研究各种温度变化情况下的材料微观组织变化。
无
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